Mikro-Koordinatenmessgerät Zeiss F25

Das Multi-Sensor-Koordinatenmessgerät Zeiss F25 misst Objekte mit taktiler und optischer Sensorik. Eine Besonderheit liegt in der hochgenauen Siliziumtasterkinematik mit integrierten piezoresitiven Elementen (Boss-Membran). Die Auslenkung der Tastkugel wird über Spannungsunterschiede ermittelt. Bereits mit kleinsten Antastkräften wird dadurch die hochgenaue dreidimensionale Erfassung des angetasteten Objekts möglich. Somit ist eine Messung in Umgebungsbedingungen des wbk Messlabors (Klimatisierung, Schwingungsentkopplung, …) mit Unsicherheiten <0,25 µm möglich. Ergänzt wird die taktile Sensorik durch eine Kamera mit einem Objektiv mit 13-facher Vergrößerung. Die luftgelagerte Kinematik mit Linearantrieben verfügt über eine aktive Luftdämpfung im Untergestell.

Hochgenaue Messung von Größe, Form und Position von Werkstücken und Mikrosystemteilen – am wbk für Mikrozahnräder (Modul < 200 µm).

  • Messsystem: Inkrementale Längenmesssysteme mit Glaskeramikmaßstäben mit einer Auflösung von 0,0078 μm
  • Messbereich: taktil oder optisch (x/y/z): 135/135/100 mm
  • Längenmessabweichung MPE: 0,25 µm

Ansprechpartner

Raphael Wagner

Standort