Nanofokus µSurf

Das konfokale 3D-Messmikroskop der Firma nanofocus erlaubt die optische Vermessung von Strukturen und Oberflächen im Mikro- und Nanometerbereich. Die optische Aufnahme der Probentopographie ermöglicht die Flächenvermessung von Oberflächenstrukturen und die Auswertung flächiger Rauheitskennwerte. Mit der Auswertesoftware erfolgt eine automatisierte Auswertung mit vielfältigen Analysewerkzeugen. Mit dem nanofocus µSurf werden Oberflächenstrukturierungen und Werkzeug-Schneidkanten vermessen und analysiert.

Technische Daten:

  • Topografiemessung
  • Schwenkbarer Messkopf
  • Messraum (X,Y,Z): 200x200x90 mm
  • Objektive mit 5-100-facher Vergrößerung und Auflösung:
    • x,y-Richtung: bis zu 0,2 µm
    • z-Richtung: bis zu 1 nm

Ansprechpartner

Andreas Kacaras

Standort